RuO_2、IrO_2和Ta_2O_5多元氧化物涂层阳极的研究

摘要

采用H2IrCl6·H2O、RuCl3·3H2O、TaCl5及添加剂组成的复合溶液，利用溶胶-凝胶法工艺在钛基体和预镀钽的钛钽表面氧化烧结形成活性RuO2、IrO2和Ta2O5组成的多元金属氧化物涂层阳极，制备了混合金属氧化物涂层并对制备工艺及其对氧化物涂层结构和化学成分的影响进行了研究，结果表明，H2IrCl6·H2O的含量对氧化物涂层和涂层结合力有直接影响，在IrO2（H2IrCl6·H2O当量换算）含量达到7％～8％（mass）时，涂层的孔隙率出现了最低值；当热氧化烧结温度在400℃～500℃时，涂层的孔隙率出现了最低值；在钛基体预镀钽后再热分解形成RuO2、In和Ta2O5涂层的表面裂纹较直接形成混合金属氧化物涂层的少．