陶瓷基材上金刚石薄膜的微观结构与界面研究

摘要

用透射电子显微镜研究了用热丝法在Ｓｉ＿３Ｎ＿４－ＳｉＣ＿ｗ，ＡｌＮ陶瓷基材上生长的金刚石薄膜的显微结构和金刚石膜－基片界面。结果表明，金刚石膜内有大量的（１１１）孪晶，堆垛层错和位错。Ｓｉ＿３Ｎ＿４－ＳｉＣ＿ｗ基材上的金刚石膜的晶粒细小，有沿基材表面的条纹状的晶粒生长。界面研究表明ＡｌＮ基材上膜－基界面处有两种形核方式：无明显过渡层时，金刚石晶粒呈锥状生长，晶粒间留有孔洞；有界面过渡层时呈柱状生长。