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Ge_xSi_(1-x)/Si超晶格红外探测器最佳结构

     

摘要

通过对GexSi1-x/Si超晶格机理的研究,算出了GexSi1-x/Si超晶格红外探测器的最佳结构参数,以对1.3μm红外光有最大的利用率。

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