双束质子辐照降低快速晶闸管通态压降的研究

何维; 林理彬; 卢勇; 陈军; 朱佳政

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双束质子辐照降低快速晶闸管通态压降的研究

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在分析晶闸管通态压降产生的机理的基础上，从协调开关时间与通态压降关系入手提出了采用双束质子辐照晶闸管。对ＫＫ２００Ａ半成品晶闸管进行能量３．５ＭｅＶ和５．０ＭｅＶ注量为２．５×１０１１ｐ／ｃｍ２的单束质子辐照晶闸管所得的晶闸管的电学参数与先用５．０ＭｅＶ后用３．５ＭｅＶ能量注量都为２．５×１０１１ｐ／ｃｍ２的双束质子辐照的晶闸管所得的电学参数进行了对比，发现双束质子辐照不仅能有效地缩短晶闸管的开关时间，

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来源
《半导体技术》 |1999年第6期|12-14|共3页
作者
何维; 林理彬; 卢勇; 陈军; 朱佳政;
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作者单位

四川大学物理系;

中国原子能科学研究院核物理研究所;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类 TN342.6;
关键词
晶闸管; 双束质子辐照; 通态压降; 开关时间;

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