TiO_2基氧化物半导体氧敏传感器的研究开发进展

摘要

综合介绍 TiO2基氧化物半导体氧敏传感器的研究发展历史和 TiO2材料的特性，比较了各 种氧敏机理、制备方法、传感器的氧敏特性，就制备方法－材料微观结构－氧敏性能关系中的几 个重要问题，进行了深入的探讨，并对今后的研究开发与产业化，结合本课题组的研究工作，提出 了几点建议。