通过激光烧蚀沉积薄膜

摘要

一种在衬底上沉积薄膜的方法，包括用激光束烧蚀靶，以产生沿传播方向离开靶的表面延伸的蒸发物的烟柱。激光束聚焦在靶表面之前并在烟柱中的有限距离（d）处，由此为烟柱中赋予增加的能量。也可以高速旋转靶，以便赋予蒸发物预定的速度分量，该速度分量使以较低速移动的蒸发物偏离传播方向，并防止被沉积到衬底上。在金刚石膜的形成中该方法很有用，并且已经应用在微芯片制造、可视显示单元、太阳能转移、光学、光电技术、保护表面、医学应用以及切割和钻孔应用等领域。