二元不互溶Cu-Ta体系非晶相的形成

黄昌清; 隋曼龄

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二元不互溶Cu-Ta体系非晶相的形成

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利用X射线衍射(XRD)、高分辨透射电子显微术(HRTEM)和X射线能谱(EDS)研究了共溅射Cu-Ta薄膜中非晶相的形成.结果表明,共溅射Cu-Ta薄膜为非晶相,但是其中存在着纳米尺度的Cu晶粒和富Cu的非晶纳米颗粒,即存在纳米尺度的相分离.正的混合热是导致Cu-Ta二元不互溶体系非晶态薄膜相分离的本质原因.

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来源
《材料研究学报》 |2004年第3期|290-294|共5页
作者
黄昌清; 隋曼龄;
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作者单位

中国科学院金属研究所沈阳材料科学国家(联合)实验室;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类特种结构材料;
关键词
金属材料; Cu-Ta非晶相; 共溅射薄膜; 高分辨透射电子显微术; 不互溶体系;

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