一种新型多反射栅声表面波化学量传感器的研究

摘要

提出了一种新的延迟线型声表面波化学量传感器。作为敏感组件的声表面波器件由 1组叉指换能器和多个反射栅组成。经过高频调制的脉冲信号通过叉指换能器在器件表面激励起声表面波 ,遇到反射栅发生反射 ,反射回来的声表面波再由叉指换能器转化成电信号。 N个反射栅即可形成 N个反射脉冲。通过测量各个反射脉冲之间的传输时间 ,即可实现对相应各反射栅之间表面状态的检测。当各反射栅之间制备有化学敏感膜时 ,即可实现新型化学量传感器。这种传感器的一个最突出的特点是可在同一压电基片上实现多个传感器 ,形成传感器组。