微波等离子体CVD法在人造金刚石衬底上外延生长金刚石

摘要

本文用微波等离子体化学气相沉积方法,以丙酮和氢气作为原料气体,在人造金刚石的(100)(110)面上外延出金刚石,在(111)面上生长出多晶金刚石。