基于灰色辨识的光刻机恒温控制系统建模

摘要

针对光刻机媒质远传温控系统的大惯性、多重时滞和多重扰动特点,采用理论建模与系统辨识相结合的建模方法,运用大系统解耦理论实现高阶模型的降阶分解,设计多态抗失真试验采集输出数据序列,采用系统辨识方法估计数学模型参数,建立分散时滞、扰动的温控系统动态数学模型。此模型已被成功运用于光刻机投影物镜高精度恒温控制系统中,达到了0.006℃的温度稳定度,并表现出较强的鲁棒性和自适应性。