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光学薄膜厚度修正挡板的设计

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摘要

本文论述一种用于镀制光学薄膜的厚度修正挡板新的设计方法我们通过应用截流蒸气云静止挡板技术和采用平面静止挡板透视投影法来设计光学薄膜厚度修正挡板最后给出设计和实验的结果

著录项

来源
《光子学报》 |1999年第9期|841-845|共5页
作者
林坚; 林永钟; 廖群峰;
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作者单位

福建师范大学激光研究所;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类薄膜的生长、结构和外延;薄膜技术;
关键词
光学薄膜; 厚度修正挡板; 透视投影; 真空镀膜;

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