大口径氮化镓单晶的量产装置

摘要

日本ソルボサ—マル结晶成长技术研究组合(仙台市青叶区)开发了大口径氮化镓(CaN)单晶的量产装置，其目标是在2006年实现直径为25mm的氮化镓单晶的量产化，5年以后实现直径为50mm以上的氮化镓单晶的量产化。氮化镓单晶作为紫色激光、固体照明用光源等的基板材料而备受瞩目，如果实现量产化，则在下一代大容量DVD的读取装置、