LEC-InP晶体中的孪晶现象

摘要

本文论述了LEC-InP单晶生长过程中出现孪晶现象的机理,实验论证了在大多数情况下孪晶面是由棱上{111}小平面发展而成的。用选择生长方向的方法难以消除此现象,应严格控制多晶原料的质量及B_2O_3中的水含量,并选择最佳的温度分布等生长条件。