基体负的低偏压对氟化非晶态碳膜结构及性能的影响

摘要

为了研究基体负的低偏压Vb 对氟化非晶态碳膜的结构、纳米硬度和疏水性能的影响 ,采用等离子体浸没与离子注入装置 ,CF4和CH4作为气源 ,在不同的基体偏压下制备了一系列氟化非晶态碳膜。使用XPS、ATR FTIR和Raman谱对其成份和结构进行了表征。薄膜硬度通过纳米压痕仪进行测量 ,采用躺滴法测量薄膜与双蒸水之间的接触角来评价其疏水性能。XPS和FTIR结果表明薄膜中存在C CF、C Fx基团。Raman谱结果表明 :随着基体偏压的增加 ,薄膜从类聚合物状结构逐渐转变为类金刚石结构 ,薄膜的硬度逐渐增加。接触角测量结果表明 :在低偏压范围内 。