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摩擦电化学与摩擦电化学研磨抛光研究进展

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摘要

评述了水基介质和非水基介质中摩擦电化学的研究现状和进展,总结了摩擦电化学控制机理,进而在总结分析硬脆材料研抛机理的基础上提出摩擦电化学研抛原理,指出摩擦电化学研抛可望成为微电子基材高效研抛与平坦化的关键技术.

著录项

来源
《摩擦学学报》 |2006年第1期|92-96|共5页
作者
翟文杰;
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作者单位

哈尔滨工业大学机电工程学院;

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正文语种 chi
中图分类润滑;机械性能（力学性能）试验;
关键词
摩擦电化学; 腐蚀磨损; 摩擦控制; 摩擦电化学研抛;

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