一种微进给辅助支承机构的设计与分析

摘要

微进给机构是保证超精密加工的重要因素。针对压电陶瓷驱动的微进给系统,通过理论模型的计算,根据柔性铰链的结构及性能特点,设计了高刚度的柔性导向支承机构,并使用有限元方法对其进行了分析,验证了其实用性和可靠性。