一种基于新型初级永磁直线电机的X-Y工作台设计与实现

摘要

直线电机由于结构上的原因,在高速运动过程中会产生推力波动,由此产生的运动速度波动将影响直线电机驱动的工作台轨迹跟踪精度。用一种推力波动小的新型模块化初级永磁直线电机驱动X-Y工作台,可使X-Y工作台的速度波动减小,有效提高了X-Y工作台的动态响应速度和定位精度。