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汤亮; 郝震宏; 乔东海; 汪承灏;
中国科学院声学研究所声学微机电实验室;
滤波器; 双工器; 振荡器; 射频微机电系统; 薄膜体声波谐振器;
机译:ZnO薄膜的光学和结构表征以及通过堆叠由电子束蒸发和射频磁控溅射技术制成的ZnO薄层来实现气体传感器的体声波谐振器(BAW)的制造
机译:掺氮[N]的ZnO压电薄膜及其在超小薄膜体声波谐振器中的应用
机译:基于ZnO薄膜的基于体声波谐振器的薄膜相对湿度传感器
机译:540 MHz Al / ZnO / Pt体声波谐振器的压电ZnO薄膜的PLD制作
机译:AlN薄膜体声波谐振器的制作与表征。
机译:使用基于Au / n-ZnO /压电-ZnO / Al结构的薄膜体声谐振器进行UV感测
机译:环形ZnO薄膜体声波谐振器的振动优化
机译:基于具有倾斜c轴取向的alN,ZnO和GaN薄膜的双模薄膜体声波谐振器(FBaR)
机译:使用制造方法的薄膜体声波谐振器电路和滤波器的薄膜体声波谐振器滤波器
机译:薄膜体声波谐振器,滤波器和通信设备以及包括其的薄膜体声波谐振器的制造方法
机译:薄膜体声波谐振器的制造方法及薄膜体声波谐振器
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