深能级瞬态谱技术

摘要

深能级,是指半导体中远离导带底或价带顶的杂质能级或缺陷能级.深能级的存在对半导体的电学、热学和光学性质有很大影响.有很多半导体器件,其性能直接与深能级的存在有关.如发光二极管的发光颜色和亮度,开关晶体管的开关速度,CCD器件的电荷转移效率等都受到深能级杂质的类别和浓度的影响.因此,检测和研究半导体中的深能级,在理论上和器件生产上都有重要意义.