Co对弧光放电离子镀WC－Co膜生长的影响

摘要

利用弧光放电离子镀法获得了难熔超硬ＷＣ－Ｃｏ膜（其中含Ｃｏ为０，４，１５ｗｔ－％）．随着Ｃｏ含量的增加，使真空室里等离子态趋于稳定，并使成膜速度增加；其组织结构为Ｔｈｏｒｎｔｏｎ图里的Ｔ区，并逐渐由柱状晶组织变成致密的组织结构。