离子束合成表面微合金及其抗蚀性研究

摘要

用Ar^-离子束溅时沉积制膜与高能Xe^-离子轰击相结合的离子束动态混合技术,直接在轴承钢GCr15基体上制备出富Ta微合金。经TEM、XPS、AES与EDAX分析确定在特定工艺条件下可获得一定组分的非晶态合金膜。分别在H_2SO_4、NaCl和FeCls_3溶液中检验膜的抗均匀腐蚀与抗局部腐蚀的能力,证明所形成的非晶态微合金具有优良的抗腐蚀性。