对硅微波功率器件金属化系统的改进

摘要

将带有ＴｉＮ、Ｍｏ和Ｗ阻挡层的Ａｕ金属化系统用在高频功率管上，对其ＥＢ结进行了高温大电流应力试验。结果表明采用ＴｉＮ作阻挡层的器件寿命比用Ｗ作阻挡层的器件提高了２．２倍，比用Ｍｏ作阻挡层的器件提高了１．３倍。ＳＥＭ和ＴＥＭ观察表明，用Ｔｉ／ＴｉＮ／Ｐｔ／Ａｕ作金属化的产品的失效是由金属化的横向电迁徙导致的开路引起的，ｘ射线分析结果表明Ａｕ没有穿过ＴｉＮ进入Ｓｉ衬底。