高频等离子体气相反应合成氮化硅超细粉系统的热力学分析

摘要

本文采用Solgasmix-PV计算机程序计算了气相反应合成氮化硅超细粉的Si-N-H-Cl四元系的多相平衡。从理论上考察了温度、氮气、氢气、氨气流量对平衡时氮化硅摩尔数的影响。 本文还介绍了依据热力学分析,用高频N_2等离子体作为热源,NH_3、H_2、SiCl_4为反应气体合成Si_3N_4粉末的实验结果。高压电镜观察表明粉末粒度小于0.μm。化学分析测出的粉末组成为:N>37、O<3,C<0.1,Fe<0.01、Al<0.01、Ca<0.01、Mg<0.01(wt％)。粉末呈白色,非晶态。