低能原子簇轰击金薄膜的分子动力学模拟

摘要

本文基于分子动力学模拟研究铝原子簇和碳原子簇轰击金薄膜的碰撞级联过程。注入原子簇的初始能量为(0.1～0.2)keV/atom。文中计算了薄膜中金原子的反冲能谱随时间的变化。结果表明,原子簇轰击后,金原子的反冲能量可高于两倍的两体碰撞最大反冲动能。该效应可用原子簇中原子与靶原子的多次碰撞及运动原子间的碰撞解释。