低介电常数材料的高可靠性技术的确立

摘要

日本日立制作所(日立制作所)和日立化成工业(日立化成工业)株式会社开发了大大提高下一代LSI所必须的低介电常数材料的可信度的技术。以造成低介电常数材料电气劣化的机械装置为首，在阐明造成电气劣化原因的同时，提出了在分子水平上适用的抑制劣化技术，使低介电材料寿命得到了飞越性提高。