氧化钒热敏特性研究

摘要

采用金属钒作为靶材,利用反应磁控溅射工艺制备了氧化钒薄膜。分析了改变溅射总压,溅射时间,溅射温度等工艺参数对薄膜电特性的影响,探索了氧化钒的成膜工艺。并讨论了不同工艺条件下薄膜方阻,薄膜电阻温度特性。最后对样品进行了XPS分析。