KTa_(1-x)Nb_xO_3薄膜的制备研究

摘要

介绍电光、热释电KTa_(1-x)Nb_xO_3薄膜材料的制备研究进展,评述了SOl-Gel、PLD、MOD、LPE和射频平面磁控溅射等技术制备KTN薄膜的工艺特点。