(Bi,Yb)_4Ti_3O_(12)铁电薄膜的制备

摘要

采用稀有金属镱元素对钛酸铋进行掺杂,以期获得性能较好的(Bi,Yb)4Ti3O12铁电薄膜。采用溶胶-凝胶旋涂法在p型Si(100)基底上成功地沉积出(Bi3.4,Yb0.6)Ti3O12[BYT]铁电薄膜。用X射线衍射法对其结构及其成份进行了表征,用铁电分析仪(RT66A)测试了其铁电性。并就影响BYT薄膜铁电性能的因素进行了分析。