生物医用钛合金表面离子束辅助沉积氧化钛膜层

摘要

为改善钛合金(Ti6Al4V)的生物相容性,采用离子束辅助沉积(Ionbeamenhanceddeposition,IBED)技术制备了氧化钛膜层。结果表明钛合金上的膜层涂覆均匀,基体的铝和钒元素已经探测不到,膜层为含氮和沿(111)面取向的TiO相;膜层划痕实验的临界载荷为16.8N,膜层以塑性变形的方式破坏。