超光滑表面纳米压痕硬度测试研究

摘要

介绍纳米压痕法常用的Oliver-Pharr方法的计算原理,对硬度的概念做了进一步讨论。通过对三种不同材料的超光滑表面进行硬度测试,得出它们各自的硬度值和弹性模量,分析了结果差异的原因,探讨了在采用Oliver-Pharr方法进行硬度各参数测量时应注意的问题,分析结果对超光滑表面加工也有一定的指导意义。