原子态化学吸附气体的低能离子诱导脱附截面的蒙特卡罗模拟

摘要

本文根据winters & Sigmund离子诱导脱附的碰撞理论,用蒙特卡罗方法模拟了以原子态化学吸附于固体表面上的气体在低能离子轰击下所发生的脱附现象。模拟中得出了离子诱导的气体原子产额Y与气体原子在固体表面上的覆盖度θ的线性关系,并在此基础上,迅速获得了离子诱导脱附截面σ。