掺杂CeO_2对制备SnO_2电热膜电学性能的影响

摘要

以玻璃管为衬底材料,Sn(NO3)4,Sb(NO3)3,Ce(NO3)3的混合乙醇溶液作为喷涂液,采用化学喷涂法,研究掺Ce比例和成膜温度对SnO2电热薄膜电学性质的影响。工艺实践表明:SnO2电热薄膜的最佳成膜温度值为650℃,最佳掺杂Ce/Sn原子比为6%,电导率σ=104(Ω.cm)-1,电学性能的热稳定性好。并从理论上定性讨论了掺Ce比例和成膜温度对SnO2电热薄膜电学性质影响的机制。