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高能质子辐照在制造和修复高速晶闸管中的应用研究

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用高能质子辐照代替１２ＭｅＶ电子辐照，制造出ＫＫ２００Ａ晶闸管。对辐照前后以及退火后的宏观电学参数测量发现，３９ＭｅＶ的质子辐照不仅能有效缩短晶闸管的关断时间，提高工作频率，还能有效修复制造过程中电压穿通的晶闸管，

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来源
《半导体技术》 |1999年第5期|6-8|共3页
作者
何维; 林理彬; 陈军; 卢勇;
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作者单位

四川大学物理系;

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正文语种 chi
中图分类可控硅原理和设计;
关键词
高能质子; 晶闸管; 关断时间; 质子辐照; 制造;

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