不锈钢表面沉积SiC作为氢渗透阻挡层的研究

摘要

在316L不锈钢片表面上用离子束辅助沉积（IBAD）和溅射沉积加上离子注入方法制备Si-C薄膜．测量氚通过钢片的渗透率，并用XPS、AES、XRD及TEM等分析薄膜的成分和结构．结果表明，改性膜使不锈钢的氚渗透率降低近5个数量级．随着制备条件的不同，膜中的C/Si原子比不同．用双靶（Si，C）加C离子轰击的IBAD方法可得到较高的C/Si比．改性膜中形成了Si-C化学键，Si-和C-悬键的存在可能是捕陷氚使之不易扩散的原因．