半导体激光器电极制备中的蒸发技术

摘要

介绍了半导体激光器电极的蒸发技术。改进了焊接技术即蒸铟技术，并对使用的铟量、铟的厚度、蒸发电流、蒸发源与被蒸镀的电极之间的距离及铟表面的均匀度进行了实验。最后蒸发出了表面均匀、有金属光泽、厚度合适的理想电极。