CVD方法生长平面和曲面块状多晶硫化锌

摘要

采用化学气相沉积方法成功地生长出硫化锌多晶红外光学材料。加工后的成品多晶硫化锌尺寸为直径 150mm ,厚度为 6mm ;既有曲面的整流罩 ,又有平面窗口 ,蒸镀多层防反膜。由于采用了自制的活性硫化氢为原料 ,以及较好的工艺生长条件 ,生长的硫化锌红外光学材料长波透射比达到理论值 75%。镀多层防反膜以后 ,中、长红外波段透过率均有所提高 ,但镀膜技术还有待改进。文中对硫化锌的透过曲线进行了分析与比较 ,结果表明我们生长的硫化锌杂质较少 ,是红外透过率高的原因。文中还测试了硫化锌的其它主要性能。