Ag/Pb(Zr_(0.53)Ti_(0.47))O_3/YBa_2Cu_3O_(7-x)三端器件构造和性能的研究

摘要

应用脉冲激光沉积法和光刻技术我们成功地制作Ａｇ／Ｐｂ（Ｚｒ０．５３Ｔｉ０．４７）Ｏ３／ＹＢａ２Ｃｕ３Ｏ７－ｘ（ＰＺＴ／ＹＢＣＯ）三端器件．为了降低矫顽场，应用变形相界（ｘ≈０．５３）的５５０纳米厚的ＰＺＴ作为门电极，通过优化沉积条件和门电极面积小型化（６×１０－６ｃｍ２），在６４Ｋ下三端器件门电极显示了极好的电性能，低的矫顽场（～３７ｋＶ／ｃｍ）、大的饱和极化强度（６０μＣ／ｃｍ２）、剩余极化强度（４１μＣ／ｃｍ２）以及击穿电压～３×１０５Ｖ／ｃｍ．对于我们的场效应器件，在±９Ｖ的情况下沟道电阻被调制～３％．