光发射模块中激光器与光纤的无源耦合

摘要

对光电发射模块中激光器与光纤的无源耦合作了研究。利用成熟的100mm硅工艺研制成功了无源耦合用硅基平台,并可以批量生产。在此基础上利用倒装工艺实现了激光器与单模光纤的无源耦合, 出纤光功率达到了毫瓦级,且经过37次高低温冲击性能不变。