磁控溅射制备柔性衬底ZnO:Ga透明导电膜研究

摘要

室温下,采用磁控溅射方法在有机柔性衬底聚酰亚胺(PI)表面制备出ZnO:Ga透明导电薄膜,研究了薄膜的结构及光电性能,其附着性良好,电阻率为9．1×10-4Ω·cm,可见光透过率为 85％。