溅射中性粒子的质谱研究

摘要

一些导体、半导体和绝缘体样品用辉光放电型溅射中性粒子谱仪作了质谱分析。溅射中性粒子流中,原子碎片占多数时,信号离子流能正确反映样品组分的含量;若分子碎片较多时,由于电离时伴有分解过程,定量分析较为困难。