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陈德英;
东南大学微电子中心;
浓硼硅腐蚀; 自停止; EPW腐蚀剂; 微机械; 半导体;
机译:用于改善高纵横比硅微加工的硼腐蚀停止辅助横向硅腐蚀工艺及其应用
机译:用于TMAH水溶液中单晶硅高精度厚度控制的电化学腐蚀停止技术研究:IPA:吡嗪溶液
机译:用于硅膜高精度厚度控制的电化学腐蚀停止层的研究
机译:玻璃鳞片/硼改性有机硅涂料的耐热腐蚀研究
机译:过共晶铝硅合金消失模铸造中的流动性,流动停止和硅改性的研究。
机译:钯纳米粒子辅助化学腐蚀硅对乙醇溶液电氧化的研究
机译:腐蚀核废料眼镜表面中硅和硼的行为:EFTEM研究
机译:卢塞福德背散射研究硼硅酸盐玻璃的腐蚀
机译:提纯含硼硅,例如用于在太阳能电池或半导体中,涉及在真空室中用电子束照射,将硼结合物质熔化并在硼蒸发后停止照射
机译:在金属部件上生产镍铬铁硼硅合金的耐腐蚀涂层,特别是用于高速飞机和直升机的前缘
机译:在含有腐蚀性气体的环境中使用的耐热钢包含碳,硅,锰,铬,镍,硼,氮,铝,钛,镁,钙和余量的铁
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