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杨田林; 韩圣浩; 高绪团;
山东理工大学物理系;
山东大学物理与微电子学院;
磁控溅射; ITO透明导电薄膜; 光电特性; 氩分压; 等离子体共振吸收;
机译:透明导电AZO共溅射ITO阳极薄膜,该薄膜由用于OLED的双靶DC磁控管溅射法生长
机译:在低衬底温度下通过射频磁控溅射沉积的Ti:ITO薄膜的透明导电特性
机译:ITO,ITO / Ag和ITO / Ni透明导电电极的结构,光电特性
机译:通过滚动滚动加工溅射透明导电ITO / ITO薄膜
机译:临界溅射参数对透明导电氧化物应用中铝氧化锌薄膜的影响
机译:氧分压对射频溅射制备铟钛锌氧化物薄膜晶体管特性的影响
机译:磁控溅射制备的ITO / AG / ITO混合层的特性,用于透明薄膜加热器
机译:反应共溅射制备高透明导电铝掺杂氧化锌薄膜(后印刷)。
机译:ITO溅射靶及其制造方法,以及ITO透明导电膜和ITO透明导电膜的制造方法
机译:ITO溅射靶,其制造方法,ITO透明导电膜以及ITO透明导电膜的制造方法
机译:ITO溅射靶及其制造方法,ITO透明导电膜,以及ITO透明膜的制造方法
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