非蒸散型吸气剂对混合气体的抽气行为研究

摘要

NEG抽除混合气体的行为不同于抽单纯气体。测试了SEAS公司的NEG组件ST70 7WP 1 2 5 0对由 80 %H2 和 2 0 %CO组成的混合气体的抽气性能 ,并和抽纯气性能进行了比较。混合气体中的NEG对H2 的抽速受CO影响 ,随H2 吸气量的增加而明显下降。混合气体中的NEG对CO的抽速不受H2 影响。