低温等离子体诊断分析

摘要

低温等离子体是空间主要环境之一,近年来被广泛应用于材料表面改性、能源、航空、环境科学及国防等方面。本文介绍了等离子体诊断的常用方法和适用范围。认为准确进行等离子体诊断取决于两大因素:一是测量准确度(灵敏度);二是测试系统对等离子体产生的扰动较小。