平板式ZrO_2氧传感器叠压工艺的研究

摘要

采用叠成热压工艺制备平板式ZrO2氧传感器,用正交试验法比较基片的叠压压力以及温度、叠压时间对片层之间结合紧密性的影响。结果表明,对基片进行一定的溶剂润湿处理,叠压程序控制在80℃×300 s,压力为0.2 MPa时片层之间结合最紧密,烧结之后基本无裂纹和翘曲现象。