CoPt和CoPt/Ag合金薄膜的结构和磁性能

摘要

用磁控溅射法在玻璃基片上制备了具有等原子比组成的不同厚度的CoPt薄膜及不同Ag底层厚度的CoPt/Ag薄膜。真空退火后的结果表明,膜厚对CoPt薄膜的微观结构和磁性能有着重要的影响,膜厚较薄时(δ≤15nm)有利于易磁化轴(c轴)垂直于膜面取向,从而具有高的垂直磁各向异性;Ag底层可以诱导L10-CoPt相的形成并使c轴垂直择优取向,且Ag底层越厚其诱导效应越强。