微细加工新技术－LIGA技术研究

摘要

ＬＩＧＡ技术（Ｌｉｔｈｏｇｒａｐｈｉｅ，Ｇａｌｖａｎｏｆｏｒｍｕｎｇ，Ａｂｆｏｒｍｕｎｇ）是一种全新的微细加工制造方法。本文介绍了ＬＩＧＡ技术及其应用研究的意义、研究的主要内容以及中国科技大学正在做的探索性工作。