提拉法耕备耐刮擦SiO2减反膜

摘要

以正硅酸N（TEOS）原料，采用碱／酸两步催化法制备出SiO2溶胶，在未钢化的玻璃表面经提拉法制备SiO2薄膜，利用玻璃的钢化过程对薄膜进行热处理。使用场发射扫描电子显微镜、原子力显微镜、椭偏仪、傅立叶红外光谱、分光光度计等分析了薄膜的特性。实验结果表明经过玻璃的钢化后，薄膜反射率峰值为0．17％，在400-800nm的波长范围内平均反射率较镀膜前下降了5％以上，同时薄膜具有较好的耐刮擦性能。