TbFeCo缓冲层对钴铁氧体薄膜的微观结构和磁性能影响

摘要

采用射频磁控溅射技术在非晶TbFeCo缓冲层上制备了钴铁氧体(CoFe2O4)薄膜,并在空气中于300～1000℃退火。采用X射线衍射仪、振动样品磁强计对薄膜的微观结构和磁性能进行表征。研究表明:样品均以单相尖晶石结构存在,在300℃退火时具有(111)择优取向;而高于300℃退火时薄膜的(111)择优取向逐渐消失;在800℃以上退火时出现(400)择优取向。所有薄膜均具有高矫顽力和高垂直各向异性,800℃退火样品垂直于膜面方向具有最大矫顽力832×103A/m,矩形度为0.73,900℃退火时矩形度达0.9。