HCD离子镀超硬TiC涂层工艺参数的研究

摘要

本文研究了空心阴极离子镀(HCD)TiC超硬薄膜的工艺参数、微观结构及性能:通过正交试验和单因素试验,X射线衍射分析(XRD)和电子探针分析(EPMA),TEM和SEM观察,确定了Cr12MoV模具钢离子镀FiC涂层的最佳工艺参数,系统分析了TiC涂层的硬度、耐磨性与工艺参数的关系。